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工業微波干燥設備的諧振模式數目與微波爐腔腔體是成正比的。一般來說諧振模式數目越多，那么微波爐腔腔體的體積也會隨之變大，因為許多廠家為了確保工業微波干燥設備的分布均勻性，需要合理調整微波干燥設備的諧振模式數目。
工業微波干燥設備的微波能量源也是遵守能量守恒定律的，因此片面地增大微波爐腔腔體的體積有可能會導致其內部能量失恒。因為所有的廠家為了確保微波磁場的分布均勻性，都會通過能量守恒定律合理設計與控制爐腔腔體的微波功率密度。
工業微波干燥設備的爐腔腔體采用不同材料制作會有不同的效果。因此在制作時需要為微波爐腔腔體匹配合適的金屬材料，因為不同金屬材料的導電率是非常有限的，選擇金屬材料不適當有可能會造成整個腔壁的面積與損耗失去平衡。
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